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アプリオリ株式会社は科学技術製品の販売・輸入と装置・システムの開発製造会社です。

反応制御 流体制御

APRIORI Corporation Tokyo Japan

PURERON圧力センサー&セラミックフィルター

  PURERON Japan Co., Ltd.          PURERON


Pureron圧力センサーは接ガス/液部にSUS316L 二重溶解材を使用した高精度、高耐食性圧力トランスミッターです。
ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、研究開発装置・量産装置のキーデバイスとして信頼を得ています。
海外製品に依存していた用途をPureronにリプレースすることが、装置の信頼性向上とコストパフォーマンスに直結します。
出力信号は、0 - 5V、0 - 10V、 4 - 20mA から選択できますので各種制御機器と容易に接続することができます。また独特の圧力検出機構により優れた温度特性・検出精度を特長としています。
圧力を検知するダイヤフラムはセンサー本体と一体加工されており堅牢で信頼性抜群の構造となっています。
半導体結晶成長装置でも、確かな性能と信頼性が実証されてます。

 超高温(300℃)対応圧力センサー PCH-1000シリーズ

  • PCH-1000シリーズは、測定媒体温度が最高300℃まで対応できます。(周辺温度:250℃)
  • オイルレス(シリコンオイル等は一切使用しておりません)。
  • 信号出力は4~20mA、0~5Vから選択頂けます(増幅回路部は外部取付方式)。
  • 接ガス(液)部にはSUS316L材を使用(ダイヤフラム部はハステロイⓇ)。
  • 各種継手の対応が可能です。

 高精度圧力センサー PC-302シリーズ

ピュアロン圧力センサーPC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力センサーです。デジタルパネルメータ(表示器)としては、PC-302シリーズ専用のLo/Hi2段階設定式デジタルストレンゲージメーターを用意しています。

  • 広い測定範囲
    172KPaから20,684KPaまでバリエーションに富んだ圧力レンジを用意致しました。
  • 高精度
    リニアリティ・ヒステリシス・リピータビリティを含むトータル誤差が0.25%以下と高精度で圧力検出が可能です。(100PSIG以上)
  • 広い温度範囲
    圧力を検知するストレインゲージは、温度の影響を受けにくい構造になっています。その為、幅広い温度範囲での使用が可能になり高温タイプオプションを選ぶことでさらに温度範囲が広がります。
  • 耐腐蝕性
    接ガスケース部は、電解研磨処理のステンレスSUS316Lのため、耐腐蝕性があり各種腐蝕性媒体でもご安心してご使用頂けます。
  • 長い製品寿命
    圧力検知するダイヤフラムはセンサー本体と一体加工されており堅牢な構造となっています。

 インラインセラミックガスフィルター PGFシリーズ

  • 高濾過精度
    サブミクロンLSI製造プロセスにおいては、原料ガスを高純度のままユースポイントまで供給することが不可欠です。そのためには、原料ガスの高純度化はもとより、配管系のウルトラクリーン化が大きなポイントでした。ピュアロンジャパンでは、こうした時代の要求にお応えするために、エレメント部にセラミックを使用した、まったく新しいフィルタを開発。その結果、常に安定した状態で0.003μmという高濾過精度を可能にしました。
  • エッチングや薄膜形成時に不可欠な高選択性
    高選択性の追及にとって、極めて重要なポイントになるのが、水や酸素といった不純物の除去の問題です。この不純物の除去を確実に行うためには、何よりも高温状態でのベーキングが不可欠です。そうした観点から開発されたセラミックフィルタでは、200℃の高温ベーキングが行えます。
  • メンテナンス・フリーによるコストダウン
    パーティクル粒径の大きさにより段階的に濾過できる三層構造のため目詰まりが殆どなく、また耐久性/耐熱性に優れた特徴を持つセラミックフィルタは、従来のフィルタに比べ、使用時のトラブルもありません。従って、生産ラインの一時停止による経済的損失もなく、長期間に渡ってコストの低減化が図れます。

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