安全性と信頼を求められるフッ素樹脂機器は Made in Japan のサーパス製品が海外類似品を圧倒してます。
世界規模でスタンダードと呼べる実績と信頼を得ているサーパス製フッソ樹脂ラインコンポーネントをお奨めします。
ウェットプロセス” も アプリオリへ
SURPASS
●洗浄・CMP装置
★薬液ラインの圧力監視・制御
●オゾン水製造装置
★耐酸アルカリ流量監視・制御
●純水・薬液供給装置

コネクター・バルブ・レギュレーター・チェックバルブ
ウェットプロセスに必要な要素部品を全て網羅!
接液部は全てフッ素樹脂